附件1： 国家支持发展的重大技术装备和产品目录(2013年调整) 编号 名称 技术规格要求 销售业绩要求 修订说明 二、超、特高压输变电设备 (一)直流输变电设备 1 直流换流变压器 ±600kV及以上 持有合同订单 调整技术规格 2 换流阀 ±800kV及以上 持有合同订单 调整技术规格 3 直流输电用晶闸管 ±800kV及以上 持有合同订单 调整技术规格 4 控制保护设备 ±800kV及以上 持有合同订单 调整技术规格 5 直流场设备 ±800kV及以上 持有合同订单 新增 (二)交流输变电设备 电力变压器、六氟化硫 断路器、气体绝缘金属 调整技术规格及 1 750kV及以上 持有合同订单 封闭开关设备(GIS)、 零部件 串联补偿装置 三、大型石化设备和石油钻采装备 （四）对苯二甲酸（PTA）成套设备 4 PTA工艺空气压缩机组 年产量≥80万吨 持有合同订单 调整零部件清单 四、大型煤化工设备 (三)大型空分设备及其压缩机、空压机、增压机 3 1 大型空分设备 氧产量≥40000Nm /h 持有合同订单 调整零部件清单 六、大型煤炭设备 (三)大型煤炭采掘设备 刮板输送机装机功率≥ 刮板输送机和刮板转载 年销售量≥10 2 800千瓦，刮板转载机 调整零部件清单 机 台(套) 装机功率≥400千瓦 工作阻力4600千牛顿以 上支撑掩护式支架、 5000千牛顿以上薄煤层 年销售量≥50 3 液压支架 删除 双柱式掩护支架、6400 台 千牛顿以上大采高支架 和放顶煤支架 八、高速铁路、城市轨道交通设备 (六)高速铁路信号系统 适用于200Km及以上动 1 车载设备 持有合同订单 新增 车组 整机交换容量≥ 列控地面安全数据网系 2 5.6Gbps,整机转发性能 持有合同订单 新增 统 ≥1Mpps 单机有效数据容量 3 地面应答器系统 持有合同订单 新增 831bit以上 九、大型环保及资源综合利用设备 (四)资源综合利用设备 生活垃圾精分选成套系 分选精度≥98%,分选率 8 持有合同订单 新增 统装备 ≥90％ 十、大型施工机械和基础设施专用设备 (一)大型、新型施工机械 年销售量≥100 4 混凝土泵车 臂架长度≥40米 调整零部件清单 台 14 举高消防车 工作高度≥40米 持有合同订单 新增 十三、新型纺织机械 (七)染色机 1 附件1： 国家支持发展的重大技术装备和产品目录(2013年调整) 编号 名称 技术规格要求 销售业绩要求 修订说明 浴比≤1:4.5，设计温 1 高温高压溢流染色机 度≥140℃，设计压力 持有合同订单 新增 ≥3.0 bar 浴比≤1:2.5，设计温 2 气流染色机 度 ≥140℃，设计压力 持有合同订单 新增 ≥3.0 bar 浴比≤1:4，设计温度 3 纱线染色机 ≥ 140℃，设计压力≥ 持有合同订单 新增 5.2 bar 十四、新型、大马力农业装备 配用动力≥29千瓦,行 年销售量≥80 （二） 水稻联合收割机 数≥4行,立式割台,履 修改名称 台 带式 （十） 自走轮式谷物联合收割 功率≥88千瓦 年销售量≥50 新增 大马力拖拉机配套耕整 年销售量≥50 （十一） 配套动力≥88千瓦 新增 地机械 台 自走式，发动机额定功 （十二） 甘蔗收获机 持有合同订单 新增 率≥68千瓦 （十三） 自走式喷杆喷雾机 药箱容积≥1000升 持有合同订单 新增 十五、电子信息及生物医疗装备 （一）集成电路关键设备、新型平板显示器件生产设备、电子元器件生产设备、表面贴装 及无铅工艺的整机联装设备 1、太阳能电池设备 晶硅太阳能电池生产用 硅片(多晶、单晶)尺 调整名称及零部 (5) 全自动印刷、烘干、烧 持有合同订单 寸：156mm×156mm 件清单 结、测试分选系统 单 晶 炉 投 料 量 ≥ 太阳能级单晶炉、多晶 (6) 150KG ； 多 晶 铸 锭 炉 一 持有合同订单 新增 铸锭炉 次投料量≥800KG 硅片(多晶、单晶)尺 (7) 扩散炉 持有合同订单 新增 寸：156mm×156mm 铜铟镓硒(CIGS)薄膜太 基 板 尺 寸 0.6 × 1.2m ； (8) 持有合同订单 新增 阳能电池硒化、热处理 最高温度≥500度 2、半导体发光二极管(LED)生产设备 托 盘 尺 寸 :330mm 及 以 上;产能:氮化钾27片及 以 上 , 蓝 宝 石 22 片 及 以 持 有 合 同 订 单 (2) 等离子刻蚀机 调整零部件清单 上；刻蚀速率：氮化钾 年产10台以上 ≥120nm/min,蓝宝石≥ 70nm/min 沉积速率>10À/s、沉积 调整销售业绩要 (3) 氧化铟锡(ITO)溅射台 持有合同订单 均匀性<±3% 求 3、集成电路关键设备 硅片直径300mm，线宽 (1) 氧化炉 持有合同订单 新增 65-90nm (2) 单晶硅棒多线切割机 硅片直径200-300mm 持有合同订单 新增 2 附件1： 国家支持发展的重大技术装备和产品目录(2013年调整) 编号 名称 技术规格要求 销售业绩要求 修订说明 （1）硅片直径200mm， 线宽0.18-0.10μ m； (3) 高密度等离子刻蚀机 持有合同订单 新增 （2）硅片直径300mm， 线宽45-90nm 线宽≤0.13μ m工艺的 化学气相沉积设备 (4) 薄膜沉积设备 持有合同订单 新增 （CVD）；线宽≤65nm 物理沉积设备（PVD） 硅片直径300mm，线宽 (5) 芯片加工前道清洗设备 持有合同订单 新增 65-90nm 4、新型平板显示器件生产设备 (1) TFT-LCD偏光片贴附机 用于4.5代及以上工艺 持有合同订单 新增 (2) TFT-LCD用划线机 用于4.5代及以上工艺 持有合同订单 新增 5、锂离子动力电池设备 涂布速度： 20～ 锂离子电池生产用涂覆 70m/min；单面涂布厚 (1) 持有合同订单 新增 设备 度≤300μ m；最大涂布 宽度≥700mm 最大放卷幅宽≥ 锂离子电池极片分切设 670mm；可分切极片厚 (2) 持有合同订单 新增 备 度50～300μ m；分切精 度≤±0.05mm 6、其他电子元器件生产设备 基板尺寸200mm×200mm 低温共烧陶瓷（LTCC） (1) 或直径200mm；层数≥ 持有合同订单 新增 基板制造设备 30层 备注： 本目录的编号在财关税[2012]14号文件附件2已有编号的基础上编制。 3