附件1 国家支持发展的重大技术装备和产品目录 （2021年版） 编号 设备名称 技术规格要求 销售业绩要求 一 大型清洁高效发电装备 （一） 核电机组（三代核电机组） 核岛设备：反应堆压力容 器、蒸汽发生器、稳压器 1 额定功率≥1000MWe 持有合同订单 、反应堆堆内构件、核燃 料元件、乏燃料处理设备 额定功率≥1000MWe； 2 常规岛设备：主给水泵组 持有合同订单 耦合器额定功率≥7000kW 额定功率≥1000MWe； 3 核主泵电机 持有合同订单 额定电压≥10kV （二） 燃气-蒸汽联合循环机组 1 燃气轮机 E级、F级、H级 持有合同订单 （三） 大型水力发电机组 1 水轮发电机组 额定功率≥700MW 持有合同订单 （四） 大功率风力发电机组 风力发电机组：整机、发 1 单机额定功率≥5MW 持有合同订单 电机、变流器 二 超、特高压输变电设备 （一） 直流输变电设备 1 直流换流变压器 电压等级：±800kV及以上 持有合同订单 （二） 交流输变电设备 气体绝缘金属封闭开关设 1 电压等级≥1100kV 持有合同订单 备 三 大型石油及石化装备 （一） 乙烯成套设备 乙烯、丙烯、裂解气压缩 1 年产量≥140万吨 持有合同订单 机 （二） 橡塑机械 1 混炼挤压造粒机组 年产量≥20万吨 持有合同订单 1 编号 设备名称 技术规格要求 销售业绩要求 道路相变自调温材料混炼 2 年产量≥5万吨 持有合同订单 挤出成套装置 （三） 天然气管道运输和液化储运装备 天然气输送用一体式压缩 1 额定功率≥10MW 持有合同订单 机 （四） 油气钻采装备 1 不压井作业装备 提升能力≥70t 持有合同订单 2 水下生产系统脐带缆 工作压力≥3000psi 持有合同订单 四 大型煤化工设备（无） 五 大型冶金成套设备（无） 六 大型矿山设备 （一） 大型非公路矿用自卸车 1 电动轮非公路矿用自卸车 额定装载重量≥220t 持有合同订单 （二） 大型煤炭采掘设备 矿山特种钻机车（用于煤 最大提升力≥600kN； 1 层气、页岩气开采对接井 持有合同订单 输出转矩：12500～30000N·m 及矿山应急救援） 截割宽度≥4200mm； 截割高度≥2400mm； 2 掘锚一体机 持有合同订单 截割能力：20～25t/min； 装运能力：25～35t/min 七 大型船舶、海洋工程设备 （一） 大型高技术、高附加值船舶 船长≥200m； 最大载客≥650人； 1 中型邮轮 持有合同订单 客房≥250间； 满足SRtP、USCG、USPH等规范要求 船长≥110m； 最大作业排水量≥10000t； 2 新型潜航器支持母船 持有合同订单 载荷下潜收放能力≥400t； DP2级及以上动力定位 （二） 大功率柴油机及其他船用关键配套设备 功率≥1000kW； 1 天然气及双燃料发动机 持有合同订单 缸径≥200mm 工作扭矩：314～9810 kN·m； 2 柱塞式舵机 转舵角度：±35°/±45°； 年销售量≥80台 转舵速度≥65°/28s 八 高速铁路、城市轨道交通设备 （一） 大功率交流传动电力/内燃机车 2 编号 设备名称 技术规格要求 销售业绩要求 大功率交流传动电力机车 1 单轴功率≥1200kW 持有合同订单 转向架 2 大功率内燃机车转向架 柴油机装车功率≥3200kW 持有合同订单 九 大型环保及资源综合利用设备（无） 十 大型施工机械和基础设施专用设备 （一） 大型、新型施工机械 1 大型全断面隧道掘进机 刀盘直径≥6m 持有合同订单 2 越野轮胎起重机 最大起重量≥60t 持有合同订单 3 混凝土泵车 臂架长度≥56m 年销售量≥100台 年销售量≥80台 整机重量≥45t； （双臂轮履救援液 压挖掘机、整机重 4 液压挖掘机 双臂轮履复合救援液压挖掘机整机重 量≥90t液压挖掘 量≥20t 机为持有合同订 单） 5 铣刨机 铣刨宽度≥2m 持有合同订单 满载重量≥13t； 6 履带式全地形工程车 持有合同订单 最高公路行驶速度≥60km/h 7 举高消防车 工作高度＞40m 持有合同订单 8 集装箱正面吊/堆高机 最大起重量≥45t 持有合同订单 钻孔直径≥2800mm； 9 旋挖钻机 持有合同订单 动力头扭矩≥280kN·m 最大作业高度≥11300mm； 最大作业宽度≥16600mm； 10 全电脑凿岩台车 持有合同订单 最大钻孔深度≥30m； 凿岩机冲击功率≥30kW 十一 重大工程自动化控制系统和关键精密测试仪器（无） 大型、精密、高速数控设备、数控系统、功能部件与基础制造装 十二 备（无） 十三 新型纺织机械 （一） 棉纺成套设备 1 自动络筒机 卷绕速度≥2100m/min 年销售量≥50台 转杯转速≥18万转/分钟； 2 全自动转杯纺纱机 年销售量≥30台 纺纱速度≥300m/min （二） 非织造布成套设备 纺熔复合非织造布成套设 1 幅宽≥1.6m 持有合同订单 备 十四 新型、大马力农业装备 3 编号 设备名称 技术规格要求 销售业绩要求 发动机额定功率≥260马力； 1 大马力轮式拖拉机 动力换挡或CVT换挡； 年销售量≥50台 有卫星导航接口 2 自走式喷杆喷雾机 药箱容积≥2000L 持有合同订单 自走式玉米、小麦联合收 玉米联合收获机采收行数≥6行； 3 年销售量≥100台 获机 小麦联合收获机喂入量≥12kg/s 十五 电子信息及生物医疗设备 半导体发光二极管（LED）生产设备、集成电路关键设备、电子元器件生产 （一） 设备、材料基因设备 1 半导体发光二极管生产设备 可配置单片6英寸或8英寸四腔系统， 可改造升级8×6英寸多片四腔系统； 金属有机化学气相沉积设 （1） 外延厚度和材料组成均匀性STD≤ 持有合同订单 备 1%； 电子迁移率≥1900cm2/Vs 分辨率：0.7～2μm； 高亮度LED步进投影光刻 适应2～6英寸多种基底的曝光； （2） 持有合同订单 机 可监测基底翘曲值； 多种背面对准配置 2 集成电路关键设备 硅片直径：300mm； （1） 氧化炉 持有合同订单 线宽≤28nm 硅片直径：300mm； （2） 高密度等离子刻蚀机 持有合同订单 线宽≤55nm 薄膜沉积设备：化学气相 硅片直径：300mm； （3） 沉积设备、物理气相沉积 持有合同订单 线宽≤28nm 设备和原子层沉积设备 硅片直径：300mm； （4） 涂胶显影机 持有合同订单 线宽≤28nm 硅片直径：300mm； （5） 快速热退火设备 持有合同订单 线宽≤28nm 硅片直径：300mm； （6） 湿法清洗机 持有合同订单 线宽≤28nm 可用于300mm晶圆； （7） 晶圆缺陷自动检测设备 镜头倍率：1X、2X、3.5X、5X、 持有合同订单 10X、20X 硅片直径：300mm； （8） 离子注入机 持有合同订单 线宽≤28nm 数字信号通道≥1024； 最高测试速率≥200Mbps； 电源信号通道≥128； 继电器控制信号通道≥256； 集成电路自动化测试及分 生产效率≥9000片/小时； （9） 持有合同订单 选设备 Jam≤1/5000； 可搭配模拟模块、射频模块、高压模 块、图像处理模块等处理不同信号类 型的模块，以及机器视觉检测模块、 多种不同进料出料模块 4 编号 设备名称 技术规格要求 销售业绩要求 （10） 前道铜互连电镀设备 应用于45nm至14nm铜互连电镀工艺 持有合同订单 硅片直径：300mm； （11） 化学机械抛光机 持有合同订单 线宽≤28nm （12） 先进封装电镀设备 应用于先进封装电镀工艺 持有合同订单 3 电子元器件生产设备 印刷速度≥5m/min； 印刷宽度：150～600mm； 印刷直线度≤0.1mm； 片式多层陶瓷电容器丝网 印刷间距波动范围≤0.2mm； （1） 持有合同订单 印刷机 电极厚度范围：0.6～1.5μm； 收卷整齐度≤0.5mm； 有张力控制系统、边缘纠偏系统、数 据采集系统 片式多层陶瓷电容器自动 处理电容尺寸：0201至1206； （2） 持有合同订单 分选机 最大处理能力≥12000只/分钟 玻纤板正面尺寸≥160mm×160mm， 厚度≤2.0mm； 涂刮机构全程采用电机调整水平，调 整步距≤0.01mm； 印刷工作台表面与网框底面的平行度 低温共烧陶瓷光刻工艺硬 （3） ≤30μm； 持有合同订单 质玻纤板印刷生产线 印刷工作台表面与印刷头的平行度≤ 30μm； 生产效率≥15秒/片； 视觉辅助对位精度≤3μm； 膜厚极差：±3μm 4 材料基因设备 X射线能量范围：2.1～30keV； 光斑尺寸≤500μm（X射线表征）； 空间分辨率≤100 μm（热学或磁学表 （1） 高通量材料芯片表征系统 持有合同订单 征）； 极限分辨率≤0.5 GHz（弹性模量表 征） 成分分辨率≤1%； （2） 高通量材料芯片制备系统 薄膜厚度不均匀性≤3%； 持有合同订单 薄膜厚度可控精度≤1nm （二） 高端医疗装备 磁场强度≥1.5T； 1 超导磁共振成像系统 冷头类型：4K； 年销售量≥10台 谱仪通道数≥16 CT排数≥64排； X射线计算机断层摄影设 2 CT球管热容量≥5M； 年销售量≥30台 备 高压发生器功率≥100kW 晶体条横截面≤4.5mm×5.0mm； 正电子发射及X射线计算 3 CT排数≥64排； 持有合同订单 机断层成像扫描系统 CT球管热容量≥5M 5 编号 设备名称 技术规格要求 销售业绩要求 X射线最高能量≥6MV； 剂量率≥400cGy/min； 4 医用电子直线加速器 持有合同订单 多叶准直器最小叶片宽度≤5mm； 具有影像引导、动态调强功能 透析液流量：300～800mL/min； 透析液温度控制精度：±0.5℃； 透析液电导率控制精度： 5 血液透析机 年销售量≥1000台 ±0.1mS/cm； 超滤脱水控制精度：±30mL/h； 具有在线血液透析滤过功能 磁场强度≥1.5T； 6 超导磁体 年销售量≥10台 冷头类型：4K 高压发生器功率≥100kW； 7 数字减影血管造影系统 X射线管电流≥1000mA； 年销售量≥10台 探测器像素尺寸≤160μm 能量切换速度≤100ms； 最大能量≥230MeV； 8 小型集成化质子治疗系统 持有合同订单 剂量率≥2Gy/min/L； 超导同步回旋加速器磁场强度≥8T （三） 医药成套设备 工作环境：B+A级洁净区； 1 灌装设备 灌装精度：±1％（2mL以上灌装 年销售量≥160台 量） 极限真空压力≤0.5Pa，压力可调； 真空泄漏率≤10mbar·m3/s； 2 冻干机 年销售量≥150台 冷阱最低温度≤-75℃； 板层温度均匀一致性≤2℃ 十六 民用飞机及发动机、机载设备 （一） 固定翼飞机与直升机、机载设备 1 50座级涡桨支线飞机 最大起飞重量≥20t 持有合同订单 70座级涡桨支线飞机 2 最大起飞重量≥26.5t （总装及机体结构） 新型涡扇支线飞机 3 最大起飞重量≥43t 持有合同订单 （总装及机体结构） 最大起飞重量≥5.5t； 4 19座级双发涡桨通用飞机 持有合同订单 获得CAAC型号合格证 最大起飞重量≥3.1t； 5 4吨级民用直升机 持有合同订单 获得CAAC型号合格证 6 7吨级民用直升机 最大起飞重量≥6.7t 最大起飞重量≥13t； 7 13吨级民用直升机 持有合同订单 获得CAAC型号合格证 大型水陆两栖飞机 8 最大起飞重量≥53.5t （总装及机体结构） 大型客机 9 最大起飞重量≥75t 持有合同订单 （总装及机体结构） 10 复合材料初级教练机 最大起飞重量≥1t 持有合同订单 6 编号 设备名称 技术规格要求 销售业绩要求 11 复合材料中级教练机 最大起飞重量≥1.9t 持有合同订单 （二） 发动机、机载设备 起飞功率≥1240kW； 1 涡轴发动机 最大连续功率≥1100kW； 基准重量≤230kg 7吨级民用直升机尾传动 2 功率≥550kW 系统 起飞功率≥100马力； 3 压燃式航空活塞发动机 最大连续功率≥100马力； 持有合同订单 基准重量≤200kg 7